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小流量減壓器
描述:R21膜片式減壓器,輸出壓力穩(wěn)定,特別適用于氣體分析儀器、各種高純氣體、腐蝕性氣體及有毒氣體
更新時(shí)間:2025-03-15
產(chǎn)品型號(hào):R21系列
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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詳情介紹
結(jié)構(gòu)特點(diǎn):
單級式減壓結(jié)構(gòu)
膜片與母體采用硬密封形式
母體接口螺紋:1/4” NPT(F)
安全壓力:1.5倍的zui大輸入壓力
適用溫度:-40oF ~ 165oF(-40oC ~ 74oC)
泄露率:2 x 10-8 atm.cc/sec He
CV:0.14
重量:0.9 kg(2.0 lbs)
材質(zhì)
母體:銅電鍍,316L
閥座:PCTFE,PTFE,Vespel®
膜片:316L , Hasloy®
適用范圍
半導(dǎo)體制程
實(shí)驗(yàn)室
氣相分析
測試儀表
石油化學(xué)工業(yè)
電廠設(shè)備
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